การอบแห้งด้วยสุญญากาศเป็นกระบวนการลดความดันในขณะอบแห้ง เพื่อช่วยให้น้่าในอาหารระเหยที่อุณหภูมิ ต่่า ช่วยลดพลังงานความร้อนและลดระยะเวลาที่ใช้ในการอบแห้ง ผลิตภัณฑ์ที่ได้จะมีความกรอบและคงไว้ซึ่งสี กลิ่น รสชาติและคุณค่าทางอาหารใกล้เคียงกับวัตถุดิบสดเมื่อเทียบกับวิธีการอบแห้งแบบดั้งเดิมที่ใช้ลมร้อน ดังนั้นการอบแห้ง ด้วยเทคนิคนี้จึงเหมาะกับอาหารที่ไวต่อความร้อน หรืออาหารที่ต้องการคงคุณค่าทางโภชนาการให้ใกล้เคียงหรือเท่ากับ อาหารสด
เครื่องอบสุญญากาศยังสามารใช้เพื่อการหาความชื้นของอาหารที่ไวต่ออุณหภูมิสูง เช่น อาหารที่มีน้่าตาลสูง หรืออาหารที่มีน้่ามันหอมระเหย (essential oil) เป็นส่วนประกอบ เพื่อหลีกเลี่ยงการอบที่อุณหภูมิสูงที่ส่งผลให้การ วิเคราะห์ผิดพลาด
ผลไม้, พืชสมุนไพร, พืชที่มีสารหอมระเหย ฯลฯ